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低溫電漿輔助原子層沈積鍍製光觸媒使用之白金奈米薄膜

的照射作用時間與白金前驅物蒸氣的噴射導入時間. (26, 38) 。第四，引入氮氣沖洗腔體並移除揮發在腔 ... atomic-layer-deposition Al2O3 /n-In.53Ga.47As metal-oxide-.

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