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《LOCOS与STI》你真的知道吗？（转） - 360doc个人图书馆

而我们知道LOCOS的作用是隔离，如果衬底boron浓度降低，则寄生场管容易 ... 当然为了corner rounding，通常的做法是liner oxide，但是到0.13以下还 ...

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