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國立臺灣師範大學機電科技學系碩士論文指導教授：劉傳璽博士 ...

composite spacer width is 1:3, the channel stress of the SiN/oxide composite ... 圖2-17 頂部CESL 層作用在電晶體結構上之示意圖. ... 線性區(liner region).

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