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90nm技術前段製程面臨的挑戰分析 - 電子工程專輯.

掌握各個製程環節、各個製程環節之間的相互作用、元件設計和元件製程技術 ... (微影、蝕刻)、通道內壁隔離層氧化(liner oxidation)、用沈積氧化層進行 ...

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