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國立中山大學機械與機電工程學系研究所碩士論文微渠道之微 ...

圖5.1 lift-off 製程元件圖：(a) 微加熱器；(b) 微溫度感測器....... 36 ... 實驗結果發現，以微加熱器及微溫度感測器之形狀，採用lift-off. 製程技術，效果不佳，易 ...

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