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LED晶片制程ppt课件 - 百度文库

LED 晶片制程ppt课件-区别：RIE是单一的射频源，无法实现适当刻蚀速率下的低损伤刻蚀，工作气压高，不利于控制刻蚀形貌，等离子体密度低， 无法获得高刻蚀速率。 ICP.

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