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「半導體設備整機驗證計劃」公告事項

(一)A類:在量產市場尚無國內業者推出之指標性關鍵製程設備,. 包括可適用於高階載板之微影曝光、micro LED 之巨量移轉、. 功率元件原子層沉積(ALD)等製程設備,同時已取得 ...

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