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應用雷射誘導背面濕式刻蝕技術於具透光性之基材 - Airiti ...

繁體中文. 雷射誘導背面濕式刻蝕 ； 透光性基材 ； 高深寬比結構 ； Laser-induced backside wet etching ； transparent substrates ； high aspect ratio structure.

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