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kla surfscan原理
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KLA突破電子束晶圓缺陷檢測瓶頸,將助EUV光刻機一臂之力
身為全球晶圓檢測技術龍頭的科磊KLA 指出,無論是三維器件結構3D NAND ... 電子束的原理,是利用電子束掃描待測元件,得到二次電子成像的影像,通過對 ...
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