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KLA-Tencor推出4款全新量測系統

2017年3月30日 — SpectraShape 10K光學量測系統在蝕刻，化學機械研磨(CMP)和其他製程步驟之後測量複雜IC元件結構的CD和三維形狀。為了全面表徵元件結構，SpectraShape 10K ...

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