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kla量測
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KLA-Tencor为尖端集成电路器件技术推出全新量测系统
Archer 600采用全新光学系统和新型测量图形,延伸基于图像的叠对误差量測技术,帮助先进的逻辑电路和內存芯片制造商实现小于将3nm(sub-3nm)的叠对误差。
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