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科磊:光學檢測具效率優勢不致被電子束取代 - 鉅亨
半導體量測設備大廠科磊(KLA-Tencor)行銷長Brian Trafas(見附圖)指出,儘管製程不斷微縮,半導體廠為維持量產效益,光學檢測設備仍有其不可替代的高產 ...
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