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KLA-Tencor爲先進積體電路元件技術推出全新量測系統

我們推出的全新叠對量測，圖案晶圓幾何形狀，光學線寬和即時溫度測量系統對于提升193i多重曝光性能和早期EUV微影基線數據收集都極爲重要。” Archer 600 ...

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