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電子束檢測- 维基百科，自由的百科全书

電子束檢測（Electrons Beam inspection，簡稱E-beam inspection、EBI），用於半導體元件的 ... 相較於探針式(Probe)電性量測，電子束檢測具有兩個顯著優勢，能在製作電子元件 ...

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