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kla量測
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(12)發明說明書公告本
括:量測反應室、緩衝反應室、製程反應室以及處理器。 量測反應室用以測量半導體基板之翹曲量;緩衝反應室 ... 用以執行上述目的之量測設備係購自KLA Tensor(加.
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