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KLA推出突破性的電子束缺陷檢測系統 - 天天要聞
半導體設備大廠科磊(KLA)宣佈推出具有革命性的eSL10電子束圖案化晶圓缺陷檢測系統。 ... 新的eSL10架構內置可擴充性,可以在整個電子束檢測和量測領域內延伸其應用。
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