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工學院專班半導體材料與製程設備學程
第三章、實驗方法:利用KLA & TENCOR 缺陷檢驗機台來分析缺陷形. 成原因及來源,並運用HDP 機台的溫度 ... 止,進而量測其接觸角θ,以判定材料之親、疏水性,而其量.
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