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kla量測
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https://technews.tw/2020/07/21/kla-esl10/
看準台積電大幅採用EUV,科磊推電子束圖案化晶圓缺陷檢測
... 下,美商半導體設備商科磊(KLA)於21 日宣布,推出革命性的eSL10 電子束 ... 架構內置可擴充性,可以在整個電子束檢測和量測領域內延伸其應用。
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