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https://books.google.com.tw/books?id=1jH6DwAAQBAJ&pg=PA37&lpg=PA37&dq=kla%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%A9%9F%E5%8F%B0&source=bl&ots=dKn_7XM8Dh&sig=ACfU3U1wUAFM2IP1HUR52MH80XPhMzLiCA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwiz2oSxmPX7AhXLnnIEHeblC5sQ6AF6BQi5AhAD
新電子 09月號/2020 第414期 - 第 37 頁 - Google 圖書結果
對於邏輯和記憶體的3D架構,每個生產步驟中使用的製程機台、晶圓和材料必須滿足嚴格的 ... 測量整合功能,且需要採用創新的檢測和量測技術測量這些整合功能的訊號(圖4)。
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