Airborne Particle Sensor (APS). 晶圓氣體微塵偵測系統. 創新的設計,將偵測能力最小至0.15um的微塵偵測系統設計成類晶圓形狀,能在不打開機台得情況下即時測量設備腔 ...
確定! 回上一頁