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KLA-Tencor™推出新型Surfscan® SP3 缺陷与表面质量检测系统
新的机台与新的影像处理电脑,与算法改进一起提升了生产通量; 深紫外特定的光圈,增强了侦测覆膜上缺陷的能力; 集成、高分辨率 ...
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