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kla量測機台
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急需补短板的环节:半导体的量测设备 - 电子工程专辑
前言:量测设备占到WFE市场的11%,是晶圆制造工艺设备中仅次于光刻机、刻蚀、CVD之后的第4大类产品,国际上对标全球第5大半导体设备企业KLA。
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