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https://www.ctimes.com.tw/DispProduct/tw/KLA/2012141050KC.shtml
KLA推出兩款量測與檢測系統提升3D NAND與先進製程良率
KLA Corporation今日發布兩款新產品:PWG5晶圓幾何形狀量測系統 ... 使用無圖案晶圓檢測儀對起始基板和材料仔細地進行認證,同時頻繁監控製程和機台。
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