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光學+電子束新一代晶圓檢測系統讓缺陷無所遁形

這些IC整合和生產挑戰需要創新的檢測和量測策略以控制數百個製程步驟， ... 出缺陷，並儘可能在線上檢測，同時距離製程機台越近越好，速度越快越好。

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