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10奈米以下光罩檢測KLA-Tencor推新系統

圖說：針對10奈米及以下的先進光罩檢測技術，美商科磊光罩產品事業部(RAPID) 副總裁兼總經理熊亞霖博士宣布該公司推出三套新系統。

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