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KLA-Tencor 推出PROLITH(TM) X3.1 虛擬黃光電腦模擬軟體
PROLITH X3.1 並不實際曝光測試晶圓,而是模擬成像結果,利用基本物理學原理來協助研發人員研究和较佳化微影製程。新的X3.1 版EUV 和LER 功能只需數 ...
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