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IC晶片搶進高階製程不可或缺漢微科產能倍增 - 理財周刊

目前仍為半導體IC製造業檢測主流的光學檢測技術，主要透過光學原理，因而可達到較快速掃描速度，以及大面積掃描範圍；相對而言，解析度、缺陷捕捉敏感度 ...

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