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電子束圖形圓片缺陷檢測設備是一種利用掃描電子顯微鏡在前道工序中對半導體圓片上的刻蝕圖形直接進行缺陷檢測的工藝檢測設備。其原理為通過聚焦電子束對圓片表面進行掃描， ...

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