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寬頻電漿光學測量結合機器學習磊晶圓圖案缺陷檢測更有效率
本研究最初專注於開發使用寬頻電漿(KLA 29xx)光學缺陷檢測系統的技術,可以擴展用於圖案化晶圓,因為與傳統的Haze量測技術不同,首先採用無圖案晶圓並 ...
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