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光學+電子束新一代晶圓檢測系統讓缺陷無所遁形

KLA 的392x系列和295x系列寬頻電漿晶圓缺陷檢測系統支援晶圓級缺陷發現、良率學習和在線監測，適用於≤7nm邏輯和先進的記憶體設計節點。寬頻電漿照明技術可 ...

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