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kla檢測原理
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美國KLA獨霸半導體檢測設備市場,國產替代的最大阻力如何搬?
其工作原理是將激光照射在圓片表面,通過多通道採集散射光,經過表面背景噪聲抑制後,通過算法提取和比較多通道的表面缺陷信號,最終獲得缺陷的尺寸和分離。無圖形圓片表面 ...
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