其中,上海精測膜厚產品(含獨立式膜厚設備)已取得國內一線客戶的批量重複訂單,上半年公司實現首台12 寸晶圓外觀缺陷檢測設備交付,首台獨立式OCD 設備與Review SEM 出機 ...
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