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KLA-Tencor™推出新型Surfscan® SP3 缺陷与表面质量检测系统

7月11日，KLA-Tencor CorporationTM (NASDAQ: KLAC) 宣布推出新一代的Surfscan® ... 新的机台与新的影像处理电脑，与算法改进一起提升了生产通量；

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