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KLA-Tencor新系統問世助力實現多重曝光/EUV顯影成型 - 新電子
近日科磊(KLA-Tencor)針對7奈米以下的邏輯和尖端記憶體設計節點,推出了五款顯影成型控制系統,期盼 ... 瞄準FinFET/3D NAND元件新電子束量測機台上陣.
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