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KLA突破電子束晶圓缺陷檢測瓶頸，將助EUV光刻機一臂之力

內存顆粒越發先進:三星用上10億一台的EUV光刻機打造 ... 繼SK海力士宣布在M14和在建的M16工廠都引入EUV光刻機之後，三星也坐不住了。據三星介紹，自2014年 ...

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