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半導體微影製程疊對控制之研究The Study of Semiconductor ...

HOC 的各項補值，是晶圓圖層完成對準曝光後，由KLA 量測機台量測定義的 overlay mark 而得到的補償參考數值，再將此參考數值輸入到指定的生產程式來做. 形變或殘值的補償。

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