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矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究 - 義守大學

本實驗的Si-Cr薄膜在濺鍍參數500W-3mtorr時，其電阻特性最不易受溫度影 ... 試片加熱至所設定的溫度後，再使用K-type 的熱電隅來確定試片的實際溫度，接.

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