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一窺全世界技術最精密的機具

接著將每個光罩放在矽晶圓上方，照射光線（相當於在轉印模版上噴漆）。 ... 更棘手的是，EUV光還會被空氣吸收，因此機台內部必須完全真空。此外，還要能 ...

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