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半導體乾式真空泵浦

適用於輕型應用的iXL 系列. iXL 系列是一系列低功耗緊湊型乾式泵浦，適用於輕型應用，例如晶圓處理、PVD 和計量。 快速的製程室抽氣和極低的功耗 ...

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