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第二章實驗儀器操作與原理- 2.1 真空系統

本實驗所使用到的真空腔系統，包含了一個主真空腔(Main chamber)、一個. 乾式幫浦(Dry vacuum pump)、一個渦輪旋轉幫浦(Turbo pump)、一個離子幫浦.

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