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深次微米矽製程技術 - 第 277 頁 - Google 圖書結果

清洗 用的異丙醇( isopropyl alcohol , IPA )回收後,濃度高的可以蒸餾再生,濃度低的可作助燃劑,燃燒後的灰燼則依產業廢棄物的規定處理。回收系統的結構特點有二: 1.

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