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TW201606072A - 供乾燥半導體圖案之用的置換溶液 - Google ...

本發明提供用於乾燥半導體圖案的置換溶液與方法，包含與異丙醇完全互溶的氫氟醚 ... 本發明人發現前述的目的可藉由在沖洗半導體晶圓後的乾燥時，以異丙醇(IPA)置換以 ...

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