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薄膜生物反應槽處理半導體廠廢異丙醇之探討

目前半導體製程所排放之有機溶劑中，異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)為最大宗之溶劑，其處理方式大多以收集後清運委外處理為主，而IPA具有生物可分解性，為了達到有機 ...

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