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國內半導體製造業及光電業之產業現況、 製程廢氣污染來源與 ...

光阻劑、丙酮、IPA、顯 ... 有機溶劑的使用,相對於晶圓製造,IC 封裝製程的有機廢氣. 排放程度則較為輕微。 ... 表3 半導體製造業使用有機溶劑之相關特性. 溶劑品名.

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