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發掘製程可疑缺陷IC切片把關樣品功能性測試 - 新電子雜誌

離子束CP可執行截面分析/微蝕刻. 相較於傳統機械研磨(Grinding)，Cross-section Polisher(CP)的優點在於，利用離子束切削(Ion milling) ...

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