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以聚集離子束製備多層量子井氮化鎵奈米柱之光學特性研究 ...

聚集離子束（Focused Ion Beam）這是一種在奈米技術製造上相 ... 3-3 聚焦式離子束顯微鏡（Focused Ion Beam,FIB） ... 況下，其研磨率（Milling Rate）之比較12。

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