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ion milling原理
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離子銑_百度百科
Ion Beam Milling. 等離子體通常是由電感耦合RF源或微波源產生的。 ... 圖1 離子束刻蝕機的原理. 中和燈絲髮射電子與氬原子複合來防止硅片帶上正離子電荷。
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