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聚焦離子束於石英玻璃奈米結構加工之探討 - 國立中山大學

表2- 1 比較聚焦式離子束和掃描式電子顯微鏡的成像原理 ... 本論文主要研究聚焦離子束(focused ion beam, FIB)對石英玻璃. (fused quartz)奈米結構的加工特性。

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