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離子佈植機台 - 國立中央大學光電科學研究中心

儀器中文名稱：中電流源離子佈植機; 儀器英文名稱：Medium current ion implanter; 儀器英文簡稱：Ion implanter; 儀器廠牌及型號：ULVAC IMX3500

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