應用, 監控項目, 量測技術. 晶柱,晶錠. Ingots and slugs, P/N 型態, P/N tester. 摻雜/阻值 ... 表面完整性及晶格原生缺陷 ... 3D IC Packing, 晶圓接合面缺阱檢測
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